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檢測儀器 >> LED藍(lán)寶石碳化硅質(zhì)量檢測儀器 >> 平整度測試系統(tǒng)：OWT-200
                




 




 


產(chǎn)品簡介：


    OWT-200平整度測試系統(tǒng)，采用光學(xué)方法測量晶圓、藍(lán)寶石、Sic、Si、玻璃等材質(zhì)的表面特征，在無需任何接觸的情況下測量厚度、TTV、LTV、彎曲度、平整度等，可在線和離線測量。


 


產(chǎn)品特點(diǎn)：

 ■厚度、TTV、LTV、翹曲度、彎曲度、平坦度測量；

 ■無接觸測量；

 ■無需校準(zhǔn)；

 ■高精度、高重復(fù)性；

 ■樣品臺可選：4寸、6寸、8寸；

 ■強(qiáng)大的分析軟件，可顯示3D表面形貌；

 ■同時進(jìn)行各種參數(shù)的測量，具備超高的測試速度；


 


技術(shù)參數(shù)：

 ■TTV

     ■精確度：±0.1um

     ■重復(fù)性精度：0.01um


 ■厚度

     ■精確度：±0.2um

     ■重復(fù)性精度：0.1um

     ■測試范圍：50-2000um


 ■翹曲度/彎曲度

     ■精確度：0.5um

     ■重復(fù)性精度：0.2um

     ■測試范圍：200um


 ■整機(jī)參數(shù)

     ■測量時間：<100秒

     ■最大測量尺寸：8寸

     ■尺寸：550*602*291mm

     ■整機(jī)功率：800W


 


典型客戶：

藍(lán)寶石、碳化硅、石英玻璃等透明或半透明晶片企業(yè)等。
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